La technologie MEMS RF
MEMS RF est l’acronyme de MicroElectromechanical Systems pour les Radiofréquences. Ce commutateurs adapté à l’électronique haute fréquence se présente sous la forme d’une membrane de plusieurs centaines de micromètres de long suspendue à quelques micromètres du substrat. Quand il n’est pas activé, il isole de manière galvanique l’entrée de la sortie du dispositif (état haut). Lorsqu’une tension est appliquée sur l’électrode d’activation, la poutre métallique est attirée et vient en contact avec la sortie RF en créant un contact électrique idéal avec l’entrée (état bas).

Les commutateurs MEMS RF représentent une technologie de rupture puisqu’ils assurent: :
Une très bonne isolation et de très faibles pertes d’insertions sur une bande de 40 GHz et plus.
Grace à leur isolation galvanique à l’état haut et leur contact idéal à l’état bas, la technologie MEMS RF peut atteindre de très bonnes performances sur une large bande de fréquence comparée aux semi-conducteurs réalisant la même fonction. Cet avantage permet aux ingénieurs de repenser l’architecture électronique et d’améliorer les performances ou de réduire la taille de leurs appareils.
Une consommation de puissance nulle.
Grâce à son activation électrostatique, la puce délivre seulement quelques nanowatt de consommation de puissance lorsque la poutre est en mouvement et 0 W en statique. C’est un avantage technologique important par rapport aux solutions actuelles notamment lorsque l’enjeu est de réduire la consommation de puissance sur des appareils portatifs afin d’améliorer la durée de vie ou l’encombrement des batteries.
Une excellente linéarité.
Grace à leur propriété mécanique, plusieurs fréquences peuvent être appliquées au composant en même temps sans engendrer de distorsions. L’IP3 est typiquement meilleur que 65 dBm. Cette valeur représente l’état de l’art des semi-conducteurs actuels.
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